集束型半导体制造设备的预防维修计划优化

被引：16

作者：

厉红 ^{[1
]}

钱省三 ^{[2
]}

机构：

[1] 浙江理工大学机械与自动控制学院

[2] 上海理工大学管理学院

来源：

半导体技术 | 2005年 / 11期

基金：

国家自然科学基金重点项目;

关键词：

集束型设备; 预防维修计划; 优化; 遗传算法;

D O I：

10.13290/j.cnki.bdtjs.2005.11.010

中图分类号：

TN305 [半导体器件制造工艺及设备];

学科分类号：

080508 [光电信息材料与器件];

摘要：

研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备——集束型设备(cluster tools) 的预防维修计划优化问题。基于半导体集成电路生产线的复杂性及集束型设备的特点,建立了基于系统观的集束型设备预防维修计划实时优化模型,设计了用遗传算法求解模型的方法,最后以一个实例及运行结果说明了研究的实用性。

引用

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