非球面研磨阶段检测技术的优化

被引：3

作者：

程灏波

张学军

郑立功

张峰

范镝

机构：

[1] 中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室光学技术研究中心

[2] 吉林大学原子分子物理研究所

[3] 中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室光学技术研究中心长春

[4] 长春

来源：

关键词：

离轴非球面; 双测头轮廓仪; NURBS拟合模型;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG806 [技术测量方法];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

研磨阶段非球面的面形误差将由几十微米收敛到几个微米,适当的测量方法决定了该阶段误差的收敛速度和精度,而非圆对称离轴非球面加工研磨阶段的检测无疑更具难度。本文基于双四阶B样条函数的概念,提出了NURBS曲面拟合模型并用于指导非球面的研磨,同时给出应用实例,验证了该方法的有效性。

引用

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