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高精度大口径平面镜瑞奇康芒定量检测方法研究
被引：17
作者：
田秀云
吴时彬
伍凡
陈强
吴永前
机构：
[1] 中国科学院光电技术研究所
[2] 中国科学院光电技术研究所 四川成都
[3] 四川成都
来源：
关键词：
瑞奇康芒检验;
定量检测;
影响函数;
D O I：
10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2004.04.032
中图分类号：
TH74 [光学仪器];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
瑞奇 康芒法是检测大口径平面时的行之有效的方法。由于被检平面处于发散光路中,这就使得平面面形与系统波像差之间的关系(即影响函数)变得十分复杂,推导起来十分困难,故长期以来该方法只能作为一种定性或半定量的检测手段。给出了数学算法,推导出了被检平面镜面形误差与检验系统波像差之间的相互关系,实现了瑞奇 康芒的定量检测。
引用
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