脉冲准分子激光PZT薄膜的制备

被引：4

作者：

陈逸清，郑立荣，林成鲁，邹世昌

机构：

[1] 中国科学院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室

来源：

关键词：

PZT，脉冲激光沉积（PLD），铁电薄膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN304.905 [];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

本实验采用脉冲准分子激光沉积（ＰＬＤ）法，在１９３ｎｍ波长，５Ｈｚ频率，４Ｊ／ｃｍ２能量密度条件下，分别在Ｓｉ（１００）和ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上成功地沉积Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）薄膜，并在不同的条件下对ＰＺＴ薄膜进行退火处理。用ＸＲＤ，ＲＢＳ，ＡＳＲ等方法分别测量了薄膜的结构、组份和厚度。

引用

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