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利用MEMS技术制作MMIC的三维电容电感和滤波器
被引：3
作者：
张海涛
齐臣杰
刘理天
机构：
[1] 清华大学微电子研究所
来源：
关键词：
滤波器;
电子设备;
MMIC;
三维电容;
MEMS;
技术制作;
电感;
电阻抗;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN713 [滤波技术、滤波器];
学科分类号：
080902 ;
摘要：
<正> 随着信息时代的发展,对于无线通信设备中的一些外接的分立元件的微型化、低功耗及可携带性提出了更高的要求。现在通常采用单片微波集成电路(MMIC)技术来制作微波电路器件。传统的MMIC技术制作电路的特点是:用半绝缘材料(GaAs)作绝缘衬底;将衬底的背面金属化,且作为地。但是MMIC技术也存在其不可避免的缺点:由于GaAs的成本较高,使得采用MMIC技术制作的微波器件的成本也比较高;当频率大于12GHz后,器件必须用通孔才能做到与地充分接触,而且毫米波通过通孔使电路性能变差;还有采用MMIC技术制作的无源器件的面积占到了整个器
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