电容传感器及其纳米量级定位技术

被引：7

作者：

张洪刚

吴敬国

郑义忠

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

[2] 军事医学科学院卫生装备研究所

来源：

仪表技术与传感器 | 2001年 / 10期

关键词：

电容测微仪; 望远镜; 纳米;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.12 [];

学科分类号：

摘要：

介绍了大型天体望远镜光学镜面面形的控制方法和工作原理。该大型天体望远镜 10m直径的主镜由 36块对角线长 1.8m的六角形子镜拼接而成 ,应用电容测微技术使此超大型镜面的共面性达到纳米量级的定位控制。通过检测原理的分析 ,阐述了电容式传感器在使用中提高其准确度和长期稳定性的理论分析和具体技术措施 ,并提出新型涂敷式差动传感器 ,采用新材料和高集成度的新器件 ,以满足传感器在温、湿度变化大的条件下实时监测的要求

引用

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