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玻璃与玻璃的静电键合
被引:3
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
印燕
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
吴冲若
机构
:
[1]
东南大学电子工程系
来源
:
微细加工技术
|
1998年
/ 04期
关键词
:
键合;电场;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TQ171.1 [基础理论];
学科分类号
:
0805 ;
080502 ;
摘要
:
静电键合是片状材料封接的一种重要手段,讨论了玻璃在电场作用下的键合过程。
引用
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页码:50 / 54
页数:5
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