类金刚石薄膜光学常数拟合模型的合理性研究

被引：5

作者：

李建超

苏俊宏

徐均琪

机构：

[1] 西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室

[2] 西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室陕西西安

[3] 陕西西安

来源：

应用光学 | 2004年 / 05期

关键词：

类金刚石薄膜; 光学常数; 模型; 可靠性;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41-34 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

由于椭偏光谱测量结果不能直接反映所测量样品材料的结构和光学性质,所以需要利用最小二乘法来拟合分析椭偏光谱数据得到光学常数。而椭偏光谱分析依赖于构建的模型,且可能存在多模型解,因此考虑模型的合理性就显得十分必要。本文采用椭偏法测量了类金刚石薄膜(DLC)的光学常数,分析并拟合了脉冲真空电弧离子技术镀制的类金刚石薄膜的椭偏光谱,获得了光学常数,并对拟合模型的合理性和测量结果的可靠性进行了分析。

引用

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