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坐标测量机激光非接触式测头的研制
被引：3
作者：
费业泰，金施群，胡毅，管钧
机构：
[1] 合肥工业大学精仪系
来源：
关键词：
PSD器件、激光非接触式测头、瞄准定位;
D O I：
10.16428/j.cnki.cn11-4827/t.1994.05.002
中图分类号：
TH721 [坐标器和自动坐标器];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
本文介绍适用子精密大型测试仪器──坐标测量机的激光非接触式测头的研制。该测头采用ＰＳＤ作为敏感元件并采用单片机技术完成对测量数据的处理。
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