锥形阀压电薄膜泵的初步研究

被引：7

作者：

程光明

吴博达

曾平

杨志刚

铃木胜羲

广濑精二

机构：

[1] 吉林工业大学

[2] 山形大学

来源：

压电与声光 | 1998年 / 05期

关键词：

锥形阀，压电薄膜，泵;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH38, [];

学科分类号：

080704 ;

摘要：

提出一种适应高频工作状态的压电薄膜泵结构，初步分析了所采用的锥形阀的工作原理与作用，设计了试验泵结构，加工了样机，通过试验证明了锥形阀的有效性，为进一步的研究打下了基础。

引用

收藏

页码：13 / 16+59

页数：5

相关论文

共 1 条

[1] “双驱动足”回转式压电马达初步研究 [J].

程光明，杨志刚，曾平 .

压电与声光, 1995, (06) :15-18