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PSD激光测微仪的研制与精度分析
被引：28
作者：
金泰义
李胜利
徐育
郦明
机构：
[1] 中国科学技术大学精密机械与仪器系
来源：
关键词：
在线检测;
位置敏感元件;
精度分析;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
介绍PSD激光测微仪的结构及特点。根据输入输出参数方程及误差测量结果进行数据处理和误差分离,确定了仪器的系统误差和随机误差。这一工作为系统误差补偿和提高仪器测量精度提供了依据。
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页数：6
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