多孔SnO2薄膜的导电和气敏特性

被引：4

作者：

王悦

李建平

韩泾鸿

付秉相

机构：

[1] 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室!北京

来源：

真空科学与技术 | 1998年 / 04期

关键词：

SnO2薄膜传感器; 多孔薄膜; 晶界导电; 气敏特性;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.1998.04.006

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

用RGTO方法制备多孔、颗粒状SnO2薄膜；根据SEM观察结果建立简单导电模型，并验证其导电机制主要是晶界导电；研究纯SnO2薄膜及掺杂SnO2薄膜对CO，乙醇等气体的气敏特性。掺Pt的薄膜对CO有很好的气敏响应；选择合适工作温度，可提高灵敏度改善选择性，用此种方法制得的薄膜具有良好的长期稳定性、非常短的响应和恢复时间等特点。

引用

页码：272 / 275

页数：4

共 6 条

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[2]

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[3]

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[5]

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