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纳秒脉冲空气辉光放电等离子体及应用
被引:9
作者:
万军
贾向红
宋铭炜
王守国
机构:
[1] 中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室
来源:
关键词:
纳秒脉冲放电;
半导体断路开关;
空气辉光等离子体;
表面处理;
D O I:
暂无
中图分类号:
O646.9 [等离子体化学];
学科分类号:
摘要:
采用基于半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个金属电极之间产生放电区间为1 600mm×100 mm×25 mm的常压辉光空气等离子体。等离子体发生器采用负高压针电极阵列与平板阳极结构,针电极的直径为1 mm,长度为20 mm,针电极之间的间隔为20 mm,针电极与平板零电位之间的距离为25mm,在每个负高压针电极末端周围同时形成圆锥形辉光放电,在平板地电极则形成大面积辉光放电。采用电压探针测量了该新型等离子体的放电特性,结果表明:放电脉冲的上升时间为26 ns,最高脉冲输出峰值电压为27 kV;利用该辉光等离子体对幅宽为1 000 mm聚四氟乙烯薄膜进行了表面改性处理,处理后其表面接触角由原来的124°降到69°,亲水性能大为提高。
引用
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页码:2299 / 2302
页数:4
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