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横向负载下三维微触觉传感器的力学模型
被引：4
作者：
李源
栗大超
胡小唐
赵大博
傅星
机构：
[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
来源：
关键词：
微结构尺寸测量;
微机电系统;
微触觉传感器;
力学模型;
横向负载;
D O I：
10.13494/j.npe.2007.002
中图分类号：
TP212.1 [物理传感器];
学科分类号：
摘要：
提出了一种用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉式传感器在横向负载下的力学模型,用于指导传感器的设计和优化.对传感器的整体刚度、敏感梁的应力分布、检测灵敏度及线性灵敏度进行了计算.利用ANSYS有限元仿真方法模拟了传感器的应力分布,分布曲线与理论曲线的偏差小于3.870/0,最大应力的仿真和理论偏差小于3.630/0.通过一个已完成传感器的性能标定,灵敏度的实验和理论误差为7.790/0,实验值线性误差为0.20/0.
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