热对流式加速度传感器原理及应用

<正>前言一提到加速度计传感器,人们会习惯性地想到高昂的价格及其传统的应用领域-高档汽车。的确,以往的加速度计传感器由于其特定的工作原理和复杂的微机械加工工艺,导致其制造成本以及在小量程应用领域的失效率居高不下,使其无法在消费类电子中得到广泛的应用。热对流式加速度计传感器以其独特的工作原理和微机械加工工艺,确保高可靠性、高性能、低价格,已开始应用于各种消费类电子产品。