脂润滑下二硫化钼溅射膜的摩擦特性

ＭｏＳ＿２溅射膜通常是用于干摩擦的场合，因而对它在脂润滑下的摩擦学行为，特别是对其在边界润滑状态下的作用都还很少有人进行研究。以解决空心圆柱滚子轴承早期磨损失效为主要目的，利用球－盘摩擦磨损试验机考察了在脂润滑下ＭｏＳ＿２溅射膜的摩擦特性。结果表明，脂加ＭｏＳ＿２溅射膜可以在比较宽的速度和载荷范围内表现出良好的减摩性能，此外，还利用Ｘ射线光电子能谱方法测定了射频溅射ＭｏＳ＿２固体润滑膜的元素化学状态、成分深度分布和膜层厚度等，分析了成膜条件对ＭｏＳ＿２溅射膜的影响，为获得理想的ＭｏＳ＿２薄膜提供了科学依据。