自润滑微机械系统研究

被引：1

作者：

田扬超

刘刚

洪义麟

付绍军

机构：

[1] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室

来源：

微细加工技术 | 1999年 / 02期

关键词：

自润滑微电子机械；LIGA；MoS2;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH117.2 [润滑];

学科分类号：

080203 [机械设计及理论];

摘要：

介绍了一种制作含有固体润滑剂的自润滑微电子机械的新方法。这种自润滑微电子机械克服了液体润滑剂在微电子机械中的副作用，能够有效地减少微电子机械接触面的微摩擦力和微电子机械的磨损，从而延长微电子机械的寿命。测试了以ＭｏＳ２作为固体润滑剂的Ｎｉ微电子机械的摩擦系数和磨损，结果显示加入ＭｏＳ２的微电子机械的摩擦系数与磨损仅为未加ＭｏＳ２同类微机械的２／３～１／２与１／１０～３／４。

引用

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