硅压阻式压力传感器温度性能的改善

被引：1

作者：

刘君华

丁胜群

机构：

[1] 西安交通大学动力工程二系

来源：

关键词：

硅压阻式压力传感器; 温度性能; 正温度系数; 零位输出; 桥臂电阻; 温度补偿; 温度校正; 压阻系数; 硅膜片;

D O I：

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中图分类号：

学科分类号：

摘要：

硅压阻式压力传感器产品分为提供温度补偿与不提供温度补偿两种.本文从使用者的角度针对国产桥路封闭式GYC型传感器提出几种改善温度性能的方法,可以使传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数方便地达到10-5/℃数量级.这些方法同样适用于不提供温度补偿、桥路不封闭的其他型号传感器.

引用

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