小型高分辨率光电编码器现状与展望

被引:3
作者
喻洪麟
机构
[1] 重庆大学光电精密机械研究所
关键词
小型高分辨率编码器;光栅位移测量;综述;
D O I
10.16428/j.cnki.cn11-4827/t.1996.05.001
中图分类号
TN15 [光电器件、光电管];
学科分类号
0803 ;
摘要
小型高分辨率光电编码器是发展机器人及相关科学技术的关键技术,是当前国际上的研究热点.它可用于机器人位置速度控制和微量超精密特殊环境下的机械测试技术.本文综述小型高分辨率光电编码器测量系统,并描述了这项技术的最新进展.
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