薄膜微结构分析的几种X射线散射技术

被引：4

作者：

吴小山

机构：

[1] 南京大学固体微结构物理国家重点实验室

来源：

关键词：

薄膜; 微结构; X射线; 散射;

D O I：

暂无

中图分类号：

O434.1 [X射线];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

文章厄要介绍了X射线小角反射、X射线漫散射技术、X射线表面衍射和多晶薄膜的小角衍射实验原理和实验技术,特别针对各种实验技术中实验数据的采集要求做了细致描述;通过对自旋阀、异质结构中的应变、薄膜深度轮廓及应变规律等的研究,说明这些散射技术在薄膜研究中的应用.

引用

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共 4 条

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