采用巴基管涂层化学气相沉积金刚石

被引：7

作者：

王克忠

高志栋

李玉宝

陈志清

朱艳秋

梁吉

魏秉庆

吴德海

惠梦君

机构：

[1] 清华大学机械工程系

[2] 中国科学院物理研究所

来源：

科学通报 | 1995年 / 07期

关键词：

巴基管; 热丝法化学气相沉积; 金刚石;

D O I：

暂无

中图分类号：

TQ164 [人造宝石、合成宝石的生产];

学科分类号：

摘要：

<正>关于热丝法气相沉积金刚石的研究已经进行了多年,迟滞这种工艺进一步发展的主要技术障碍是沉积速度低,如何提高热丝法沉积金刚石的速率,成为合成金刚石薄膜领域中的一个迫切需要解决的课题.富勒烯族分子(C60,C70,巴基管)均是由碳原子构成的大分子.近年来,在能够合成这些分子之后,它们即被用于合成金刚石的研究,但是以富勒烯族分子为涂层材料的化学气相

引用

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