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溅射用铁电陶瓷靶的烧结与显微结构分析[J]. 卢德新，刘兴阶，胡用时，李佐宜.华中理工大学学报(社会科学版). 1994(03)
铁电薄膜底电极对薄膜结构与电性能的影响
被引：7
作者：
卢德新，李佐宜，刘建设，黄龙波，梁俊文
机构：
[1] 华中理工大学固体电子学系
来源：
关键词：
薄膜厚度;
矫顽场;
极化强度;
矫顽力;
底电极;
物理性能;
电性能;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484.42 [];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
研究了电极材料（Ｐｔ／Ｔｉ）对铁电ＰＬＺＴ（７．５／６５／３５）陶瓷薄膜结构和性能的影响．认为在Ｐｔ层厚度一定时，Ｔｉ层的厚度对铁电薄膜的结构和性能有显著影响．当Ｔｉ层过厚或过薄时，铁电薄膜的结构较差；而当Ｔｉ层的厚度适中时，则铁电薄膜的显向下微结构均匀，电性能较好，典型的剩余极化强度和矫顽场分别为２７．８μＣ·ｃｍ￣（－２）和６５．１ｋＶ·ｃｍ￣（－１）．
引用
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页码：1932 / 1937
页数：6
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