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微系统与纳系统技术(上)
被引：4
作者：
周兆英
冯焱颖
机构：
[1] 清华大学精密仪器与机械学系
来源：
关键词：
纳米技术;
微器件;
MEMS;
微光开关;
尺寸效应;
生物芯片;
微米量级;
微制造技术;
微传感器;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB383 [特种结构材料];
学科分类号：
070205 ;
080501 ;
1406 ;
摘要：
微系统(Micro Systems)和纳系统(Nano Systems)是微米纳米技术最终开发目标之一,是21世纪技术发展的热点。作为IC的扩展和大规模微结构器件在小空间中的高度集成,我们的读者在陌生中可能会感到一丝熟悉。
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