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光谱型椭偏仪对各向异性液晶层的测量
被引：8
作者：
穆全全
刘永军
胡立发
李大禹
曹召良
宣丽
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
来源：
关键词：
光谱型椭偏仪;
各向异性;
折射率;
相位延迟;
D O I：
暂无
中图分类号：
O753.2 [];
学科分类号：
0702 ;
070205 ;
0703 ;
080501 ;
摘要：
探讨了利用普通光谱型椭偏仪对各向异性液晶层进行综合性测量的可行性.并利用法国Jobin Yvon公司的UVISELSPME(Spectroscopic Phase Modulated Ellipsometer)光谱型椭偏仪测量了光学各向异性液晶层的折射率no和ne及液晶层厚d,进一步利用椭偏仪在透射方式下测量了平行排列液晶层的光延迟特性Δnd,二者取得了很好的一致性,说明利用光谱型椭偏仪可以实现对光学单轴性液晶层及其他材料的测量,测厚精度为纳米量级.
引用
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页码：1055 / 1060
页数：6
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