共 1 条
用于等电子谱线法诊断电子温度的Mg/Si混合膜制备工艺研究
被引：3
作者：
许华
吴卫东
陈志梅
唐晓虹
黄勇
唐永建
机构：
[1] 中国工程物理研究院高温高密度等离子体物理国家重点实验室
[2] 中国工程物理研究院高温高密度等离子
来源：
关键词：
电子温度;
磁控溅射;
复合靶;
镁硅混合膜;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484 [薄膜物理学];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
进行了在单靶头磁控溅射装置上采用复合靶溅射制备Mg/Si混合膜的工艺研究 ,制备出了不同组分的Mg/Si混合膜 ,并利用X射线衍射 (XRD)、原子力显微镜 (AFM )、透射电镜 (TEM )等测试手段 ,对混合膜的结构进行了初步分析。分析结果表明 :Mg/Si混合膜中的镁以单取向多晶形式存在 ,硅以非晶形式弥散在镁的晶粒之间
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页数：3
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