压电微动机构的电荷反馈控制技术研究

被引：2

作者：

潘仲明 ^{[1
]}

方元坤 ^{[1
]}

张勇斌 ^{[2
]}

机构：

[1] 国防科学技术大学

[2] 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

来源：

关键词：

压电陶瓷; 微动机构; 电荷反馈; 回滞;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN384 [铁电及压电器件];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

研究了压电微动机构非线性回滞的形成机理,建立了压电陶瓷电荷量与机械应变之间的数学表达式。为减小压电微动机构的非线性回滞环,采用电荷反馈控制方法对压电微动机构进行控制。实验结果表明,与传统的电压激励方式相比,采用电荷反馈激励方式,压电微动机构的回滞环减小了50%,线性度提高了35%。

引用

页码：1205 / 1207

页数：3