时域与频域三点法直线度EST的对比研究

被引：4

作者：

张镭

金嘉琦

张玉

机构：

[1] 东北大学,沈阳工业大学

来源：

关键词：

时域三点法; 直线度误差; 测头; 直线度; EST; 对比研究;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1998.06.022

中图分类号：

TG839 [其他形位偏差测量仪];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

＠张镭＠金嘉琦＠张玉￥东北大学￥沈阳工业大学１引言八十年代后，日本学者恒野羲昭和中国学者洪迈生等分别提出了频域和时域三点法直线度误差分离技术（ＥＳＴ—ＥｒｏｒＳｅｐａｒａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｉｑｕｅｓ）［１～２］。此后的研究，主要侧重于方法的改进和应用。本文...

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