微电子机械系统和流体流动

被引：13

作者：

ChihMing HoMechanical and Aerospace Engineering Department University of California Los Angles Los Angeles California YuChong Tai Electrical Engineering Department California Institute of Technology Pasadena California ^{[90095
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机构：

来源：

力学进展 | 1998年 / 02期

关键词：

流动控制，微电子机械系统（MEMS），微转换器，尺寸效应，表面力;

D O I：

暂无

中图分类号：

O35,TP271.4 [];

学科分类号：

摘要：

出现于８０年代后期的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器．这些微型转换器与信号调节和处理电路集成后，组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统（ＭＥＭＳ）．这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域．另一方面，由于微米尺度结构中表面积与体积之比很大，在流体流经这些微小机械器件时，表面效应占据了主导地位．为此需要重新审视动量方程中的各类表面力项．由于它们非常小，气体流动具有很大的Ｋｎｕｄｓｅｎ数，所以边界条件也应加以修正．总之，微电子机械系统（ＭＥＭＳ）不但是一项实用技术，也为流动机理的基础研究提出了许多挑战．

引用

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