LIGA技术制作微反应器的研究

被引：8

作者：

刘刚

田扬超

张新夷

机构：

[1] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室

[2] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥

[3] 合肥

来源：

关键词：

微反应器; 微管道; LIGA技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

介绍了微反应器的基本原理 ,根据化学反应传质和传热的需求 ,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计 ,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器。

引用

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