有机薄膜场效应晶体管的研制

被引：16

作者：

邱勇

胡远川

董桂芳

王立铎

高裕弟

机构：

[1] 清华大学化学系,清华大学化学系,清华大学化学系,清华大学化学系,清华大学化学系北京　,北京　,北京　,北京　,北京

来源：

科学通报 | 2002年 / 08期

关键词：

有机薄膜晶体管; 铜酞菁; 聚四氟乙烯;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN32 [半导体三极管（晶体管）];

学科分类号：

070208 [无线电物理];

摘要：

采用聚四氟乙烯充当绝缘材料,利用全蒸镀法制备得到了有机薄膜场效应晶体管.源极和漏极采用氧化铟锡,半导体层和绝缘层分别由铜酞菁和聚四氟乙烯充当,栅极采用银电极.在利用光刻制备沟道长度为50μm的源极和漏极后,依次真空沉积铜酞菁层、聚四氟乙烯层和银层,得到器件的电子迁移率为1.1×10-6cm2·（V·s）-1,开关电流比大于500.

引用

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