共 1 条
[1]
无线电元器件制造工艺及设备[M]. 国防工业出版社 , 南京工学院 主编, 1980
微电子技术在石英微机械振动陀螺中的应用
被引：7
作者：
林日乐
张巧云
谢佳维
翁邦英
王瑞
赵建华
机构：
[1] 四川压电与声光技术研究所
[2] 四川压电与声光技术研究所 重庆
[3] 重庆
来源：
关键词：
陀螺;
微机械;
微电子;
石英;
光刻;
D O I：
10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2004.04.010
中图分类号：
U666.1 [导航设备];
学科分类号：
081105 ;
摘要：
叙述了采用微电子技术加工石英微机械振动陀螺振子的原理和基本过程,介绍了陀螺振子加工的研究结果和石英微机械陀螺的最新研究进展。
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