磁控溅射沉积MCrAlY涂层技术研究

MCrA1Y（M=Fe，Ni，Co等）涂层是一种合金包覆涂层，用于防止燃气轮机涡轮部件的氧化和腐蚀。已经大规模用于沉积MCrA1Y涂层的技术有电子束物理气相沉积（EBPVD）、三极溅射、低压等离子喷涂（LPP）等。在一台专用装置上对磁控溅射沉积（MSD）MCrA1Y涂层进行了研究。结果表明MSDMCrA1Y涂层成分容易调整控制，涂层纯度高，涂层致密性和涂层厚度均匀性问题都比较容易解决；这些都比EBPVD或LPPS好。MSD的MCrA1Y涂层表面粗糙度远比LPPSMCrA1Y低。MSD的主要缺点是沉积速率低，但设备结构比较简单，制造工业规模的生产装置比较容易，可以弥补这个缺点。