紫外激光烧蚀金属Al靶诱导等离子体的发射光谱研究

被引：3

作者：

曾宪康，方尔梯，张谊华，张抗战，黄正宇，滕玉美

机构：

[1] 华东理工大学化学物理研究室

来源：

关键词：

紫外激光，激光烧蚀溅射，原子发射光谱，金属Al;

D O I：

暂无

中图分类号：

O562.3 [原子光谱学];

学科分类号：

摘要：

通过测定紫外激光烧蚀Ａｌ靶诱导等离子体的发射光谱，研究了激光烧蚀Ａｌ靶的溅射过程和烧蚀环境气体对发射光谱强度的影响，提出电子碰撞激发模型，定性解释了烧蚀环境气体对等离子体发射光谱的增强效应。

引用

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