自聚焦透镜光斑直径、分辨率测试研究

被引：1

作者：

黎高平，宗亚康，吴宝宁，张越，贾大明，孔军，杨照金

机构：

[1] 国防科工委光学计量站

来源：

关键词：

自聚焦透镜，分辨率，光斑直径;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

通过显微镜放大、ＣＣＤ图像接收采集、计算机数据处理技术来测量自聚焦透镜（ＧＲＩＮ透镜）光斑直径、分辨率。重点对误差进行分析。通过对样品５２０－０２５－０８３的测试，表明该系统光斑直径、分辨率测试不确定度优于±０．１μｍ及１％，与误差分析相吻合。

引用

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