两种压电陶瓷微位移器的特性分析与实验对比

被引:11
作者
王晓慧,袁哲俊
机构
[1] 哈尔滨工业大学
关键词
压电,电致伸缩,微位移器;
D O I
暂无
中图分类号
TH822 [位移测量仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
压电和电致伸缩材料,根据其压电和电致伸缩效应,可作为新型的微位移器件。它具有结构紧凑、体积小、分辨率高、控制简单等优点。不存在发热问题,容易实现0.01μm的位移精度。在精密机械及航空航天精密工艺中得到了广泛应用。本文对这两种材料的机电耦合效应进行了描述。并通过实验曲线对两种典型的压电和电致伸缩材料的特性进行了分析对比,指出了各自的适用范围。
引用
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