基于PZT的微驱动定位控制方法的研究

被引：3

作者：

孙立宁

孙绍云

曲东升

王力

蔡鹤皋

机构：

[1] 哈尔滨工业大学机器人研究所

[2] 哈尔滨工业大学机器人研究所哈尔滨

[3] 哈尔滨

[4] 哈尔滨

来源：

压电与声光 | 2003年 / 05期

关键词：

平行板; PZT驱动; 模糊控制;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP273 [自动控制、自动控制系统];

学科分类号：

080201 ; 0835 ;

摘要：

介绍了基于PZT的一维微动工作台,采用平行板机构,对其进行了有限元分析设计。使用精密光栅进行位移闭环检测,采用模糊PI控制算法对系统进行控制,既具有模糊控制灵活而且适应性强的优点,又具有PI控制精度高的特点。实验证明了该方法的有效性。

引用

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页数：3

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共 3 条

[1] 智能科学与智能技术 [J].

蒋新松 .

信息与控制, 1994, (01) :38-39

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新型PID控制及其应用.[M].陶永华主编;.机械工业出版社.2002,

[3]

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