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U形阵列式微机械悬臂梁的研究
被引：3
作者：
于晓梅
张大成
王丛舜
李婷
阮勇
机构：
[1] 北京大学微电子学研究所
来源：
关键词：
悬臂梁;
噪声;
灵敏度;
最小可探测位移;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP241 [机械手];
学科分类号：
摘要：
为提高悬臂梁的分辨率 ,实现悬臂梁的多功能性 ,设计了一种U形阵列式压阻悬臂梁 .从理论上对悬臂梁的应力、噪声和灵敏度进行分析 ,优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸 .选用多晶硅为力敏材料 ,基于硅微机械加工技术 ,制备U形阵列式悬臂梁 .测量悬臂梁的噪声及灵敏度 ,得到多晶硅力敏材料的Hooge因子和应变灵敏度系数 ,分别为 3× 10 - 3和 2 7.在 6V偏压和 10 0 0Hz测量带宽条件下 ,计算悬臂梁的最小可探测位移为 0 5nm .同时对多晶硅力敏电阻噪声的产生机理进行了探讨 .
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