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锁相倍频式高分辨横向塞曼外差干涉仪
被引:3
作者
:
邱宗明
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0
机构:
陕西机械学院精密仪器工程系
邱宗明
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机构:
赵念念
李信
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机构:
陕西机械学院精密仪器工程系
李信
论文数:
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机构:
郭彦珍
李康循
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机构:
陕西机械学院精密仪器工程系
李康循
机构
:
[1]
陕西机械学院精密仪器工程系
来源
:
西安理工大学学报
|
1992年
/ 01期
关键词
:
锁相倍频;
塞曼激光器;
高分辨率;
外差干涉仪;
D O I
:
10.19322/j.cnki.issn.1006-4710.1992.01.003
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
阐述了分裂频率约为100kHz的横向塞曼效应激光器及以其为光源的分辨率为10nm的动态式外差干涉仪。仪器应用了国产锁相环器件,采用了专门设计的前馈控制器,使其锁定范围从±15%扩展到±40%,满足了仪器的技术要求。仪器填补了国内高分辨位移动态测量仪的空白。
引用
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页码:15 / 19+69 +69
页数:6
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