扫描电子显微镜测量靶丸表面形貌

被引：13

作者：

王明达

高党忠

刘元琼

罗青

袁玉萍

机构：

[1] 中国工程物理研究院核物理与化学研究所!成都

[2] 不详

来源：

关键词：

惯性约束聚变靶,靶丸,扫描电子显微镜,表面形貌;

D O I：

暂无

中图分类号：

O766.1u#TL632.1 [];

学科分类号：

摘要：

介绍了用扫描电子显微镜监测靶丸４π表面形貌的方法。为此研制了对惯性约束聚变靶丸４π搓动的扫描电子显微镜样品台，对靶丸的旋转精度为２ μｍ。它提供了观察靶丸缺陷的最佳方法，可为惯性约束聚变实验精选靶丸。

引用

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