硬质薄膜材料的最新发展及应用

被引：29

作者：

吴大维

机构：

[1] 武汉大学弘毅新材料有限公司湖北　武汉

来源：

真空 | 2003年 / 06期

关键词：

薄膜材料; 超硬多层膜; 超晶格薄膜; 纳米晶复合膜;

D O I：

10.13385/j.cnki.vacuum.2003.06.001

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

综述了硬质薄膜材料的最新研究状况。硬质薄膜的设计向着多元化、多层膜的方向发展。本征超硬薄膜材料,如:金刚石、C BN、B4C、TiB2、BC4N等的硬度可以达到50～80GPa。纳米超晶格薄膜和纳米晶复合膜两类新的超硬薄膜的硬度分别随超晶格的调制周期减小,纳米晶晶粒尺寸减小而增加,它们的硬度都能达到40～70GPa。最高硬度的薄膜材料nc TiN/a Si3N4采用PCVD方法制备,加载30mN测得塑性硬度(Plas tichardness)H=110GPa;加载70mN,H=80GPa。本综述对硬质薄膜的应用前景做了展望。

引用

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