新型双脚步推式微型进给机构的研究

相对于传统“尺蠖式”进给原理，模仿人走路的方式，提出“双脚步推式”进给原理。利用压电元件为驱动源，研制出在大范围内，具有很高分辨力，同时能够连续平稳进给的微型进给机构。该机构的优点概括为：１）不论压电元件的电致伸缩量是多么的有限，利用“双脚步推式”进给原理，可以实现连续平稳的大范围进给；２）在开环控制状态下，该机构能够得到高于０．１μｍ的位移分辨力；３）系统结构简单，控制容易，性能稳定。