MEMS动态测试中频闪同步控制系统

被引：2

作者：

胡春光

胡晓东

金翠云

栗大超

郭彤

傅星

胡小唐

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

来源：

天津大学学报 | 2005年 / 01期

关键词：

微机电系统; 动态测试; 虚拟仪器; 频闪; 同步;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

摘要：

频闪同步控制系统是微机电系统(MEMS)动态测试系统中的重要组成部分.为了满足MEMS发展对测试系统的需求,基于频闪成像技术,设计了一套频闪同步控制系统,用于采集高速运动的MEMS器件的清晰图像.系统采用虚拟仪器方式,通过软件控制波形发生器生成各类逻辑控制信号,驱动CCD摄像机、光源和图像采集卡等设备协调工作.实验表明,测量平面运动时,系统在 50倍放大倍率下,可测器件运动速度达 5. 1m/s,测量分辨率优于180nm,测量重复性为 40nm.

引用

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