一维PSD器件及其在测量中的应用

被引：24

作者：

于丽霞

王福明

机构：

[1] 中北大学现代教育技术与信息中心

来源：

现代电子技术 | 2007年 / 07期

关键词：

光电位置敏感器件(PSD); 等效电路; 位移测试; 空间角度测量;

D O I：

10.16652/j.issn.1004-373x.2007.07.050

中图分类号：

TP21 [自动化元件、部件];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ;

摘要：

PSD是一种新型位置传感器。介绍了PSD器件的检测原理,并以理论推导的方式给出了其等效电路及光点坐标位置与输出电流的函数表达式。重点讨论了PSD器件在位移测测试和大型回转构件空间角度测试中的应用,分析结果表明该器件具有接口简单、测试精度高,不受光束和焦点偏离的影响等优点,可广泛应用于精密测试领域当中。

引用

页码：143 / 144

页数：2