薄膜和镀层力学性能的物理方法测试

讨论了薄膜和镀层力学性能的测试方法 ,包括布里渊散射、表面声波、声显微术及微压入方法。前三种方法是非接触法 ,最后一种是接触法。声学方法可测量弹性系数的各个分量 ,在薄膜和镀层情况下这些系数是和大块试样不同的 ,在弹性各向异性情况下可测出对应某个特定方向的弹性系数。微压入法只能测量各向同性的薄膜和镀层 ,但它还能测量若干塑性以至断裂的行为。最后 ,根据弹塑性理论进行的计算机数字模拟可以给出各种应力应变状态下的力学性能。