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Sol-Gel法制备PZT薄膜及其抗疲劳性能研究进展
被引:4
作者
:
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机构:
刘大格
论文数:
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机构:
张洪喜
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机构:
王中
蔡伟
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机构:
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
蔡伟
论文数:
引用数:
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机构:
赵连城
机构
:
[1]
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
来源
:
压电与声光
|
1998年
/ 04期
关键词
:
PZT,铁电薄膜,Sol-Gel法,疲劳;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
O484.4 [薄膜的性质];
学科分类号
:
摘要
:
综述了Sol-Gel法制备PZT系列铁电薄膜各种因素对薄膜微结构及性能的影响,分析了铁电薄膜极化疲劳微观机制,提出了优化的工艺条件及极化疲劳改善方法。
引用
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页码:61 / 67
页数:7
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