Sol-Gel法制备PZT薄膜及其抗疲劳性能研究进展

被引:4
作者
刘大格
张洪喜
王中
蔡伟
赵连城
机构
[1] 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
关键词
PZT,铁电薄膜,Sol-Gel法,疲劳;
D O I
暂无
中图分类号
O484.4 [薄膜的性质];
学科分类号
摘要
综述了Sol-Gel法制备PZT系列铁电薄膜各种因素对薄膜微结构及性能的影响,分析了铁电薄膜极化疲劳微观机制,提出了优化的工艺条件及极化疲劳改善方法。
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