高通量中性原子氧束流的发生与控制

被引：4

作者：

沈嘉年

何砚发

周龙江

李美栓

机构：

[1] 上海大学材料研究所!上海

[2] 金属腐蚀与防护国家重点实验室

[3] 辽宁沈阳

[4] 东北大学物理系!辽宁沈阳

[5] 辽宁沈阳金属腐蚀与防护国家重点实验室!辽宁沈阳

来源：

强激光与粒子束 | 2001年 / 02期

关键词：

原子氧束流; 高通量; 氧等离子体; 复合; 磁约束;

D O I：

暂无

中图分类号：

TL501.5 [];

学科分类号：

082701 ;

摘要：

采用微波同轴耦合氧气放电产生高密度氧等离子体 ,经磁场约束后与一施加负偏压的金属板碰撞复合并反射 ,得到通量在 1 0 1 3～ 1 0 1 6 atoms·cm- 2·s- 1范围可控、动能约为 6～ 1 0 e V的中性氧原子束流。用双探针技术对生成的氧等离子体进行了诊断测量。根据聚酰亚胺在原子氧作用下的剥蚀率对原子氧束流进行了标定测量

引用

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