VISAR准零程差调试方法研究

被引：4

作者：

齐文博 ^{[1
,2
]}

闫亚东 ^{[1
]}

陈良益 ^{[1
]}

何俊华 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院西安光学精密机械研究所

[2] 中国科学院研究生院

来源：

应用光学 | 2009年 / 30卷 / 05期

关键词：

马赫-曾德干涉仪; 准零程差; VISAR;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

介绍了任意反射面速度干涉仪(V ISAR)中马赫-曾德干涉仪必须满足的准零程差条件。根据白光光程差调试精度高但不易相干的特点,提出了先利用激光粗调,再利用白光调试来实现零程差精密调节的方案。详细分析了激光粗调马赫-曾德干涉仪的调试原理、调试精度以及光程差不确定性。针对光程差不确定性,提出了改进的激光粗调方案,将光程差调节精度由毫米量级提高到微米量级,大大减小了白光调试的盲区,使白光精调变得简易可行。干涉仪最终光程差调试精度为1.6μm。

引用

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