准LIGA工艺

被引：4

作者：

叶雄英，周兆英

机构：

[1] 清华大学

来源：

关键词：

紫外光刻; 光敏材料; 光学材料; 电成形; 电铸; 金属结构; LIGA; 亚胺; 光致抗蚀剂; 辅料; 光刻胶; 微机械; 掩膜; 高深宽比;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1996.s1.019

中图分类号：

TH70 [一般性问题];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

在微机械领域常需用到有一定厚度、高深宽比的微金属结构，准ＬＩＧＡ工艺是制作这种微结构的一种简易、方便的手段。准ＬＩＧＡ工艺的工艺过程与ＬＩＧＡ工艺基本相同，只是不需用同步放射Ｘ线源，而利用常规的紫外光刻设备和掩膜在光敏材料上光刻形成模子，再电铸金属形成金属结构。该技术已在微机械制作中得到了应用。

引用

页码：84 / 87

页数：4