新型二维压电驱动微动工作台的设计分析

被引：12

作者：

刘品宽

曲东升

王莉

孙立宁

机构：

[1] 哈尔滨工业大学机器人研究所

[2] 哈尔滨工业大学分析测试中心

来源：

压电与声光 | 2002年 / 01期

基金：

国家自然科学基金重点项目;

关键词：

压电驱动; 纳米级微定位; 柔性铰链; 有限元分析;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP21 [自动化元件、部件];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ;

摘要：

研究开发了一种新型压电驱动二自由度纳米级微定位工作台。文章采用静力学理论对微动工作台的运动副进行了建模分析 ,推导出直角平行板柔性铰链的刚度计算表达式。采用有限元分析方法 ,对柔性铰链和微动工作台的静、动态力学特性数值分析 ,并对微动工作台的模态频率进行了实验测试。理论分析、有限元计算和实验结果的一致性说明理论分析的正确性和数值分析的可靠性

引用

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