表面粗糙度、表面微观轮廓及微位移激光测量集成化方法的研究

被引：5

作者：

李文杰

张涛

黄伟

机构：

[1] 四川大学激光应用研究所!成都

来源：

关键词：

表面微观轮廓; 激光测量; 表面粗糙度; 激光散射法;

D O I：

10.15961/j.jsuese.2000.06.022

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

通过研究激光散射法测量表面粗糙度、三角法测量微位移、干涉法测量表面微观轮廓三种几何量测量技术的共性 ,设计新型光路 ,将三种光电测量技术集成为一个测量仪 ,使其成为采用同一光源、基本同一光路、同一光敏接收器的新型光电精密测量仪器 ,而同时具有三种测量功能 .

引用

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